Kategorie
Kontaktujte nás

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co., Ltd.


Adresa:

Závod č.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Čína


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mailem:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servisní linka
029 3358 2330

Novinky

Domů > NovinkyObsah

Pokyny a opatření pro použití kovových rozprašovacích cílů

Pokyny a bezpečnostní opatření pro použití kovových rozprašovacích cílů

Za prvé, rozprašovací přípravek

Je velmi důležité udržovat vakuovou komoru, zejména rozprašovací systém čistou. Veškeré zbytky tvořené mazacím olejem, prachem a předběžným povlakem shromažďují vodní páru a další kontaminující látky, které přímo ovlivňují stupeň vakua, aby se získala a zvýšila možnost výpadku filmu. Kovové rozprašovací cíle Krátký nebo počáteční oblouk, drsnost povrchu fólie a chemické nečistoty jsou často překračovány kvůli nečistému místu rozprašování, rozprašovací pistole a cíli. Aby se udrželo složení povlakových vlastností, musí být rozprašovací plyn (argon nebo kyslík) čistý a suchý, rozprašovací komora do substrátu po potřebě extrahovat vzduch k dosažení požadovaného vakuového procesu. Stínění tmavých oblastí, stěny dutin a přilehlé plochy musí být také udržovány čisté. Při čištění vakuové komory doporučujeme použít metodu otryskávání skleněnými kuličkami k tomu, abyste se současně vypořádali se znečištěnými částmi stlačeným vzduchem, aby se odstranila dutina kolem zbytku před naprašováním, a pak jemně naneste brusný papír s oxidem hlinitým na povrch leštění. Po leštění gázy, poté opláchněte alkoholem, kovovým rozprašováním cílíte na aceton a deionizovanou vodu a doporučujeme použít průmyslové vysavače pro pomocné čištění.

UPOZORNĚNÍ: Při použití terče udržujte čisté a nechráněné ochranné rukavice a vyhněte se přímému kontaktu s terčem

Za druhé, cíl čistý

Cílem cíleného čištění je odstranění prachu nebo nečistot, které se mohou vyskytnout na povrchu terče.

Kovové terče lze vyčistit čtyřmi stupni,

První krok v acetonu namočený v měkké látce bez vláken je čistý;

Druhý krok je podobný prvním kroku s alkoholem;

Třetím krokem je umýt deionizovanou vodou. Po promytí deionizovanou vodou byl cíl umístěn v peci a sušen při 100 ° C po dobu 30 minut.

Čištění kyslíkového a keramického čisticího cíle pomocí "tkaniny bez vláken".

Krok 4 Po odstranění špinavé oblasti, kovové rozprašovací cíle vyperte cíl argonem při vysokém tlaku a nízké vlhkosti, aby se odstranily všechny nečistoty, které mohou způsobit oblouk v rozprašovacím systému

Za třetí, cílovou instalaci

Nejdůležitější věc, kterou je třeba si uvědomit při instalaci cíle, je zajistit, aby byla mezi cílovou a chladicí stěnou rozprašovací pistole vytvořena dobrá tepelná vazba. Pokud je tuhost chladicí stěny silná nebo ohnutí zadní desky je závažné, nastane praskání nebo ohýbání, když je cíl namontován a tepelná vodivost zadního terče k cíli bude značně ovlivněna, kovové rozprašovací cíle, teplo v procesu rozprašování Rozvod bude nakonec vést k cílové praskání nebo mimo cíl

Aby byla zajištěna dostatečná tepelná vodivost, může být vrstva grafitu vyplněna mezi chladicí stěnou katody a cílem. Ujistěte se, že pečlivě zkontrolujte a vyjasněte rovinnost používané chladicí stěny rozprašovací pistole a zajistěte, aby O-kroužek byl vždy v poloze.

Vzhledem k stupni čistoty použité chladicí vody a možným znečištěním zařízení během provozu zařízení je nutné zkontrolovat a vyčistit nádrž chladicí vody katody při instalaci terče tak, aby byl zajištěn hladký průtok chladící voda a vstup a výstup Neblokují se.

Některé konstrukce katody jsou menší s anodovou mezerou, Metal Sputtering Targets, takže instalace cíle musí zajistit, aby katoda a anoda nebyly v kontaktu s vodičem, nemohou existovat, jinak vznikne zkrat.

Informace o správné instalaci cíle naleznete v pokynech výrobce zařízení. Pokud tyto informace nemáte v uživatelské příručce, pokuste se dodržovat doporučení. Při utažení cílového svítidla nejprve dotáhněte šroubem ručně a poté rukou utažte další šroub na diagonále, Metal Sputtering Targets tak opakujte až po instalaci všech šroubů a potom utáhněte nástroj.