Kategorie
Kontaktujte nás

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co., Ltd.


Adresa:

Závod č.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Čína


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mailem:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servisní linka
029 3358 2330

Technologie

Domů > TechnologieObsah

Specifikace pro rozprašovací cíle a katodové materiály

Specifikace pro rozprašovací cíle a katodové materiály

 

Otočné rozprašovací cíle


Nízký obsah nečistot, vysoká čistota

Čistota je jedním z nejdůležitějších ukazatelů výkonnosti rozprašovacích terčíků a katodových materiálů, má hluboký dopad na homogenitu tenkého filmu. Nyní je požadavek na čistotu rozprašovacích terčíků a katodových materiálů stále vyšší. Například s rychlým rozvojem mikroelektronického průmyslu se velikost křemíkových plátků rozvíjí od 6 ", 8" do 12 "a šířka vedení od 0,5 um zmenšuje na 0,25 um, 0,18 um a 0,13 um, čistota 99,995% rozprašování Cílové materiály mohou uspokojit technologické požadavky 0,35 um, ale nyní vyžadují řádky 0,18 um a 0,13 um pro čistotu 99,999% nebo více rozprašovacích terčíků a katodových materiálů.

 

Vysoká hustota

Výhody vysokotlakých rozprašovacích terčíků a katodových materiálů jsou:

- vynikající elektrická vodivost

- vynikající tepelná vodivost

- vysoká síla

Při povlékacím procesu s vysokotlakým rozprašováním a katodovými materiály,

Rozprašovací síla je nižší, rychlost nanášení je rychlejší, kvalita tenkého filmu je lepší a není snadná prasknutí. Životnost rozprašovacích terčíků a katodových materiálů bude delší, můžeme získat tenkou vrstvu s nižší elektrickou rezistivitou a vyšší propustností světla.

 

Mikrostruktura-CP-titan-podélný směr.jpg

Mikrostruktura cílů rozprašování titanu , stupeň 2


Jemná velikost zrna a homogenní mikrostruktura

Jemnější velikost zrna, tloušťka tenkého filmu bude distribuovat homogennější, rychlost rozprašování bude rychlejší. A homogenní rozprašovací cíle a katodové materiály jsou důležitou zárukou stabilní kvality tenkých vrstev.

 

Rovinné rozprašovací cíle


Haohai metal vyvíjí širokou škálu nízkého obsahu nečistot, vysokou čistotu, vysokou hustotu, jemnou zrnitost a homogenní mikrostrukturní rozprašovací cíle a katody s materiály titanu , zirkonu , chromu , niobu , tantalu , molybdenu , hafnia , hliníku , křemíku , AlTi , AlCr , NiCr a SiAl atd., Abyste zlepšili proces povlakování a získali hustší, trvanlivější a lépe funkční vrstvy.

 

Neváhejte nás kontaktovat na adrese sales@pvdtarget.com Pro více informací a cenu.