Kategorie
Kontaktujte nás

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co., Ltd.


Adresa:

Závod č.19, TusPark, Century Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Čína


Tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mailem:

Info@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Servisní linka
029 3358 2330

Technologie

Domů > TechnologieObsah

Planární Magnetrony v PVD povlaky


Planární Magnetrony v PVD povlaky


Planární Magnetron je v podstatě klasický "dioda" režim rozprašování katody s přidáním pole permanentního magnetu za katodu. Toto pole magnetu je uspořádán tak, že magnetické pole je normální do elektrického pole v uzavřené cestě a tvoří hranici "tunel", který provádí soutisk elektrony blízko povrchu cíle. Tento elektron soutisk zlepšuje účinnost plynových ion formace a omezí vypouštění plazmy, což umožňuje vyšší proud při nižším tlaku plynu a dosahuje vyšší rychlost depozice prskat na Povlaky PVD (fyzikální depozice z plynné).


Bylo využito několik různých magnetronového naprašování katody/cíl tvary, ale nejběžnější jsou kruhové a obdélníkové. Obdélníkový Magnetrony se nejčastěji nacházejí ve větším měřítku v řadě magnetronového naprašování systémy kde substráty skenovat lineárně za cíle na jisté formě pásového dopravníku nebo dopravce. Cyklické Magnetrony se běžně nacházejí v menším měřítku konfokální dávkové systémy nebo jeden oplatka stanic v clusteru nástroje.


Ačkoli lze provést složitější vzory, většina katody - včetně prakticky všech kruhové a obdélníkové - mají vzorek jednoduchý soustředné magnet s centrem je jeden pól a obvod opak. Pro kruhové Magnetron by to relativně malý Kulatý magnet v centru a obvodovou kruhový magnet opačné polarity kolem vnějšího okraje s mezerou mezi nimi.


Pro obdélníkové magnetronového centrum, jeden je obvykle bar podél osy (ale menší než v celé délce) s obdélníkovou "plot" opačné polarity dokola to s mezerou mezi nimi. Propast je, kde bude v plazmě, mezikruží, kruhové magnetronového nebo prodloužený "race track" v obdélníkové. Všimněte si, že, zejména ve větších katody, magnety mohou být několik jednotlivých segmentů, spíše než jeden solidní kus.


Jak cíl katoda povlakový materiál se používá PVD a materiál sputters off, budete schopni vidět tyto charakteristické erozi vzorce na cílovou plochu. Ve skutečnosti, v případě magnetu problémy například chybějící, špatně, nebo vzhůru nohama eroze cesta bude mít abnormální a to může být dobré diagnostické označení těchto problémů v rámci magnetronového naprašování katody.


Pól orientaci jednotlivé magnety musí být jeden pól je tvořen jádrem, a opačný pól na obvodu. Existuje několik způsobů, jak to udělat. Nejběžnější je instalace na magnety Severní a jižní póly kolmo k rovině cíle, jeden pól směrem k cíli a druhý konec - "koncová" / naproti pole - magneticky mostu na magnety pólové desky vyrobené z magnetické (normálně železnatý) materiál.


Kompletní magnetický obvod je tedy otevřený Severní pól magnet (nebo řetězec jednotlivé magnety, ne-li jeden kus) s opačnou jižní pól spolu magnetický materiál k severnímu pólu jiného, jehož jižní pól je pak otevřen. Tyto dva magneticky naproti otevřené konce tváří směrem k cíli a výsledné magnetické pole oblouky nad povrchem cíle tvoří elektronový přesahy, plazmatické koncentrace tunel.


Všimněte si, že PVD Magnetron pracuje s buď magnetické zarovnání - ve středu mohou být sever a obvodu může být na jih, nebo naopak. Však ve většině systémů pro rovinné magnetronového naprašování, existuje více katody poměrně blízko sebe a nechcete bloudit sever / Jižní pole tvoří mezi cíle.


Tyto s / Magnetron magnetické pole by měla být pouze cíle tváře, tvořící požadované magnetické tunely tam. Z tohoto důvodu je naprosto žádoucí, ujistěte se, že všechny katody v jednom systému jsou zarovnány stejným způsobem, buď všechny na jejich obvodu, pokývl všech na jejich obvodu. A pro zařízení s více systémy prskat, je rovněž žádoucí, aby byly všechny stejné, aby katody lze bezpečně vyměňovat mezi systémy bez obav o magnet zarovnání.


Existují další důležité informace a možnosti ohledně magnety. Většina cíl materiály jsou nemagnetické a tudíž není v rozporu s požadovanou sílu magnetického pole. Ale pokud se prská magnetické materiály jako je železo nebo niklu, budete potřebovat buď vyšší sílu magnetů, tenčí cíle nebo obojí s cílem vyhnout se nutnosti povrchu magnetické pole účinně zkratovány z magnetického materiálu.


Kromě toho mohou být navrženy magnetu podrobnosti, například magnetické síly a zmenšení mezer, zlepšit využití materiálu cíl, nebo ke zlepšení rovnoměrnosti podél hlavní osy obdélníkové cíle. Je dokonce možné použít elektromagnety namísto permanentní magnety, které si mohou dovolit určitý stupeň programovatelné ovládání magnetického pole, ale, samozřejmě, zvyšuje složitost a náklady.


Vrčení katody jsou normálně vodou chlazený, obvykle zahrnující Měděná podložka, která je přímo vodou chlazený, s cílem buď lepené nebo upnuta k němu. A v mnoha případech, magnety jsou umístěny uvnitř vodním pláštěm, při styku s vodou, což pravděpodobně také kontakty pólové desky v takových katody.


V takových případech, se stane nezbytné přijmout vhodná opatření, aby se zabránilo korozi magnetů nebo pólové desky. Pólové desky mohou být vytvořena z magnetické slitiny z nerezavějící oceli, například, aby se zabránilo korozi, a magnety, které, podle jejich složení, by mohly jinak být ovlivněny vystavení vodě mohou být zapouzdřeny v plastu nebo epoxidové.


Planární Magnetrony a jejich blízcí příbuzní svorku na vložka cíl Magnetrony, umožnit uživateli dosáhnout vyšší rychlosti depozice vrčení než jednoduché dioda konfigurace katody. Jsou také schopni udržet plazmy při nižších tlacích plynu, které může otevřít tento parametr pro další proces úpravy k dosažení specifické vlastnosti jako může být žádoucí.


Řadu takových katody a cíle jsou komerčně dostupné, včetně možnosti síla magnetu a rozložení posílit určité aspekty tohoto procesu v případě potřeby. Se stali oporou magnetronového PVD zadrhávat zpracování.


S moderní, dobře vybavené rostlin a neocenitelné znalosti o tenký film PVD povlak procesy, materiály a aplikace,Haohai kovrozvíjí PVD povlak řešení, které našim zákazníkům nabídnout skutečné konkurenční výhody, jsme spolehlivým partnerem v oblasti výroby vysoce kvalitnítargetya obloukem katody.


Haohai kovu (Titan Haohai) poskytuje širokou škálu nátěrových hmot v různé konfigurace, například otočný cíle napra? ování, rovinné cíle napra? ování, oblouk katody, odpaření materiálů a kelímky v surovináchtItaniumzirkonchromhafniumniobtantalmolybdenkřemíkTitan hliníknikl-chromkřemík hliníkachrom hliník atd.